
Гальванометрическое сканирующее зеркало — это оптический элемент с высокоскоростным колебательным отражением, специально предназначенный для лазерных сканирующих гальванометрических систем. Материал подложки чаще всего выбирается из монокристаллического кремния и плавленого кварца; элемент характеризуется лёгкостью и высокой точностью формы поверхности, на него может наноситься диэлектрическое высокоотражающее покрытие или металлическое отражающее покрытие.
Гальванометрическое сканирующее зеркало — это оптический элемент с высокоскоростным колебательным отражением, специально предназначенный для лазерных сканирующих гальванометрических систем. Материал подложки чаще всего выбирается из монокристаллического кремния и плавленого кварца; элемент характеризуется лёгкостью и высокой точностью формы поверхности, на него может наноситься диэлектрическое высокоотражающее покрытие или металлическое отражающее покрытие. Зеркало обладает высоким порогом лазерного повреждения, сохраняет стабильную форму поверхности при динамическом колебании и обеспечивает качество сканирующего пучка.
1. Высокоскоростное отклонение пучка: быстрое колебание вместе с гальванометрическим двигателем, точное изменение угла отражения лазера, реализация двумерного векторного сканирования пучка.
2. Высокоэффективное лазерное отражение: специальный высокоотражающий слой, высокий коэффициент отражения в целевом диапазоне, низкие потери световой энергии, совместимость с непрерывными и импульсными лазерами.
3. Стабильное колебание с низкой инерцией: лёгкая конструкция подложки, снижение инерции движения, повышение скорости отклика сканирования и точности повторяемости позиционирования.
4. Сохранение формы поверхности в динамике: материал с низким внутренним напряжением, устойчивость к деформации при высокоскоростном возвратно-поступательном колебании, предотвращение искажения светового пятна и сканирующего изображения.
1. Оборудование для лазерной маркировки, гравировки и прецизионного травления волоконными, ультрафиолетовыми и CO₂-лазерами.
2. Промышленные лазерные обрабатывающие системы для лазерной очистки, лазерной сварки, сверления микроотверстий и т.п.
3. Оборудование для 3D-лазерного сканирования, лидары, лазерные проекционные системы формирования изображения.
4. Научные оптические сканирующие системы, биомедицинские лазерные диагностические и терапевтические приборы.
5. Системы сканирования оптического тракта для полупроводниковой микрообработки и прецизионного контроля.